真空氣氛爐由爐體、加熱室、真空系統、充放氣系統、風冷循環系統、電控系統、氣動系統，水冷系統及料車組成。工作時將裝配好的工件通過料車將工件送入爐膛，然后關閉爐門，自動鎖緊，通過預設程序控制抽真空、加熱、冷卻等整個熱處理過程。

  1.減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產品的不良影響。例如要使電解氫中含水量降至一40℃的露點是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當于含水量為一40℃的露點。而獲得這樣的真空度是并不困難的。

  2.對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結)，或容易出現脫碳、滲碳的材料均可用真空氣氛爐。

  3.真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。

  4.真空氣氛爐有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。

  5.真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫中燒結的硬質合金。

  6.真空燒結溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低100～150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。

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