實現國內首家在半導體領域AMHS系統級交付的重大突破

9月25日至27日北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在京隆重召開，彌費科技董事長、CEO繆峰受邀出席并在27日的專題論壇「集成電路專用設備的機遇與挑戰」中帶來《適用于半導體晶圓廠的國產自動物料傳送系統AMHS》的主題演講，分享半導體晶圓廠國產化AMHS的關鍵性技術挑戰與市場機會，并首次公開了在半導體領域整廠級AMHS國產替代成功交付的最新案例。

作為中國領先的半導體晶圓廠AMHS設備整體解決方案供應商，彌費科技完成了從AMHS產品供應商向AMHS系統級供應商的演進，采用公司AMHS硬件設備及軟件的整廠訂單已被國內最大的專注于車規級碳化硅芯片制造企業廣東芯粵能半導體有限公司驗收通過。此次成功交付展示了彌費科技在該領域的技術實力和解決方案的可靠性，也代表著彌費科技成為國內首家具備晶圓廠整廠級AMHS解決方案、量產能力、項目實施經驗和交付案例的國產替代供應商，填補了國產半導體AMHS系統在該領域的空白。

AMHS是一套復雜的自動化搬運系統，對工廠自動化尤為重要。以大陸目前量產的先進工藝節點28nm為例，其平均光刻層數近50層、工藝步驟超過1000步、生產周期90天左右，一個4萬片月產能28nm工藝節點的全自動晶圓廠每天的晶圓盒傳送量超10萬次，相比于晶圓廠AMHS系統，面板廠的傳送量僅為半導體晶圓廠的1%。晶圓廠搬送的載體一般是5-10公斤的晶圓盒，而面板廠一般是幾百斤的玻璃基板，搬送效率和復雜度完全不是一個級別。對于面板廠和晶圓廠的AMHS系統來說，是兩套完全不同的標準，不能兼容。

半導體芯片制造流程復雜，生產工序達上千道，晶圓制作過程技術要求較高。晶圓廠的AMHS系統由硬件設備及全自動控制軟件構成，數量眾多的AMHS設備在AMHS軟件的控制下實現全自動物料智能搬運，實現晶圓廠無人化運轉，一套高效的AMHS系統可以在極大程度上減少在制品的等待時間，對保持和提升晶圓廠的產量、稼動率、良率等核心生產指標至關重要。隨著芯片工藝節點的不斷升級，晶圓廠的工藝制造流程與AMHS系統的結合已成為晶圓廠生產建設必不可少的重要規劃，對于晶圓廠至關重要。

*一般一座12寸40nm 40000片月產能的晶圓廠通常包含約200臺天車構成的天車傳送系統、約25-30臺大型存儲設備和10000臺以上的空中緩存單元，以及其他各種形式的傳輸、存儲 、凈化設備。

"通過自動化、智能化的改造可大幅提升設備生產效率和產品良率， AMHS可實現半導體晶圓廠生產線間物料的無塵自動搬運，減少搬運過程的振動，滿足半導體的精密化生產需求，提升半導體的生產效率，已成為眾多先進晶圓廠的標配。"芯粵能表示，"此次彌費科技AMHS系統級解決方案驗證通過并順利交付，提高了芯粵能工廠的自動化水平，實現了智能化管理，有望幫助芯粵能大幅提高生產效率，保證產品質量穩定性。"

彌費科技董事長兼CEO繆峰表示，今年第四季度，預計彌費科技將進一步實現8英寸和12英寸半導體晶圓廠AMHS的整廠量產交付，這意味著海外寡頭在過去20～30年對半導體AMHS這一細分賽道上壟斷局面將被徹底打破。彌費科技作為半導體自動化領域的后起之秀，憑借優異的產品技術能力和在行業內取得的良好口碑，已成為中國境內極少數能提供成套半導體晶圓廠AMHS的中國本土供應商之一。

關于芯粵能

廣東芯粵能半導體有限公司(簡稱："芯粵能")，是一家面向車規級和工控領域的碳化硅芯片制造和研發企業，產品主要包括碳化硅SBD/JBS、MOSFET、IGBT等功率器件，主要應用于新能源汽車、工業電源、智能電網以及光伏發電等領域，是目前國內最大的專注于車規級碳化硅芯片制造的企業，分別被廣東省、廣州市和南沙區列為重點建設項目。

關于彌費科技

彌費科技(上海)股份有限公司(簡稱："彌費科技")是中國領先的半導體AMHS設備及核心零部件供應商，公司專注于生產、研發、銷售適用于半導體晶圓廠的自動物料搬運系統AMHS(Automated Material Handling System)。公司總部位于上海，是上海市專精特新企業，國家高新技術企業;生產基地位于上海臨港新片區，是臨港新片區集成電路產業重點簽約企業。彌費科技作為領先的成套化半導體晶圓廠AMHS中國供應商，不僅成功打破了國外廠商對AMHS這一半導體產業鏈細分領域的壟斷，更實現了產品性能關鍵指標領先國內技術，對標國際一流。

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(新媒體責編：wa12)